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碳化硅迎产业化风口? 工艺改进与成本控制仍面临“持久战”_蜘蛛资讯网

陈启分析,首先是成本问题,硅12英寸衬底约800—1000元,碳化硅在经历大降价后,目前6英寸依然约2000元,8英寸约4000—5000元,12英寸更高。其次,碳化硅和硅相比最大的缺点在于硬度,硅用ICP(电感耦合等离子体)刻蚀,小线宽工艺成熟,但碳化硅必须要用高能量的CCP(电容耦合等离子体)刻蚀,而且还不容易刻蚀出更小的形貌,设备端针对碳化硅做小线宽仍处于起步摸索阶段。 “这些工艺问题还和
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能立即下调,这一观点得到一位资深海运承保人士的认同。 该承保人士还对停火的持续有效性表示担忧。他称,截至今日上午,伊朗仍要求船只遵循过去数周的通行程序,并未全面开放霍尔木兹海峡。 “等特朗普发现霍尔木兹海峡并未比昨天更开放时,我们就能知道这场停火能否维持下去。” 该人士补充道。责任编辑:江学思
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